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  日本における半導体製造用イオン注入装置のトップメーカーとして、住友重機械イオンテクノロジー株式会社は、300mmウェハ対応をはじめとする、最先端の半導体デバイスの製造に対応した高電流、中電流、高エネルギーイオン注入装置を提供しています。
また、フラットパネルディスプレイ製造用として、最近その高い性能が注目を集めている低温ポリシリコンTFT―液晶ならびに有機ELディスプレイの製造に最適なイオン注入装置を提供しています。




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