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2011.10.03 セミコン・ジャパン2011に出展します。(2011年12月7日〜9日@幕張メッセ)
2011.09.30 製品情報に、中電流イオン注入装置「MC3−U/GP」をラインアップしました。
2011.08.11 2011年9月7日−9日に、台北世界貿易中心で開催される「セミコン 台湾 2011」に出展します。
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